近日，國家標(biāo)準(zhǔn)委發(fā)布了GB/T 33555-2025《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)要求》，該文件給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電來源和危害，包括造成粒子、微生物等聚集等，文件規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中適用的靜電控制技術(shù)要求。文件將于2025年11月1日實(shí)施！

 

引 言

靜電是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見污染源之一。靜電吸引可造成污染物集聚 ,污染潔凈環(huán)境 ,影響產(chǎn)品質(zhì)量和人員健康;靜電放電會對潔凈環(huán)境中靜電敏感設(shè)備、產(chǎn)品造成危害 ,并且給電氣安全、消防安全及人員健康造成隱患;靜電控制措施不當(dāng)不僅會影響潔凈室的氣流組織、潔凈度 ,還會影響電氣及消防安全。本文件針對潔凈室中靜電來源和危害的特點(diǎn) ,規(guī)定了符合潔凈室設(shè)計(jì)、運(yùn)行特點(diǎn)的靜電控制技術(shù)要求 ,以控制潔凈室內(nèi)的靜電影響。

 

GB/T 33555-2025

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)要求

 

1 范圍

 

本文件給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電來源和危害,規(guī)定了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中適用的靜電控制技術(shù)要求。

本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電控制。

 

2 規(guī)范性引用文件

 

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本( 包括所有的修改單)適用于本文件。

GB 15 982 醫(yī)院消毒衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 16895.10 低壓電氣裝置 第4-44 部分:安全防護(hù) 電壓騷擾和電磁騷擾防護(hù)

GB/T 25 915.3 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3 部分:檢測方法

GB/T 25 915.4 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4 部分:設(shè)計(jì)、建造、啟動

GB/T25915.13潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第13部分:達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔GB/T25915.14潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第14部分:按粒子濃度評估設(shè)備適用性GB/T25915.15潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第15 部分:按氣態(tài)化學(xué)物濃度評定設(shè)備及材料的適用性

 

3 術(shù)語和定義

 

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1 靜電控制 electrostatic control

對于給定環(huán)境、產(chǎn)品或工藝,將靜電效應(yīng)控制在允許限度之內(nèi)的活動。

3.2 靜電放電敏感(的) electrostatic discharge sensitive;ESDS

易受到靜電場或靜電放電影響而產(chǎn)生故障或破壞(的)。

3.3 靜電吸引 electrostatic attraction;ESA

兩個或多個帶相反電荷的物體之間的相互作用 ,導(dǎo)致粒子在帶電體表面上的沉積速率增加或帶電粒子的運(yùn)動。

3.4 靜電放電 electrostatic discharge;ESD

具有不同靜電電位的物體之間 ,由于直接接觸或靜電場感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的快速轉(zhuǎn)移。

3.5 防靜電工作區(qū) electrostatic discharge Protected area;EPA

為將靜電放電或靜電損害的風(fēng)險(xiǎn)控制到可接受的程度而設(shè)立的操作靜電放電敏感( ESDS)產(chǎn)品的場所。

注1: 此術(shù)語僅在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)操作靜電放電敏感( ESDS)產(chǎn)品的場所使用。

注2: 靜電放電敏感產(chǎn)品指易被靜電場或靜電放電損壞的敏感器件、集成電路或組件。

[來源:GB/T 37977.51—2023 ,3.7 ,有修改]

3.6 靜電感應(yīng) electrostatic induction;ESI

在靜電場影響下引起導(dǎo)體上電荷重新分布,并在其表面產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象。

[來源:GB/T 15463—2018 ,2.27]

3.7 靜電起電 electrostatic charge;ESC

由于物體的接觸分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等原因 ,使物體正負(fù)電荷失去平衡或電荷分布不均,在宏觀上呈現(xiàn)帶電的過程。

[來源:GB/T 15463—2018 ,3.1]

3.8 孤立導(dǎo)體 isolated conductor

防靜電工作區(qū)中對地絕緣的導(dǎo)體。

注: 對地電阻大于或等于1.0×1011 Ω 的導(dǎo)體。

3.9 工作表面 work surface

任一類型可用于進(jìn)行沒有靜電防護(hù)的靜電放電敏感工作或處理的表面。

注1: 包括人員操作表面和設(shè)備工作表面。

注2: 人員操作表面指人員在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中處置靜電敏感物的接觸面。

注3: 設(shè)備工作表面指設(shè)備在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中與靜電敏感物的接觸面。

3.10 潔凈室適用性 cleanroom suitability

對目標(biāo)潔凈室(區(qū)),維持關(guān)鍵受控參數(shù)或工況的能力。

注: 本定義是指設(shè)備和材料的使用。

[來源:GB/T 25 915.15—2022 ,3.7 ,有修改]

3.11 圍護(hù)結(jié)構(gòu) enveloPe structure

以框架為支撐的內(nèi)裝部分的總稱。

注: 包括吊頂、墻體、地面、門窗及其相關(guān)裝置、各種接口及密封等。

[來源:GB/T 36372—2018 ,3.3 ,有修改]

3.12 離子化靜電消除器 ionizing electrostatic eliminator

將空氣電離進(jìn)而產(chǎn)生正、負(fù)離子,以中和帶電物體表面靜電荷的裝置。

注: 包括離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍、離子棒、離子風(fēng)嘴、空間離子棒、除靜電風(fēng)機(jī)過濾單元、光離子型靜電消除器等。

3.13 靜電耗散材料 electrostatic dissiPative material

點(diǎn)對點(diǎn)電阻在1.0×104 Ω~1.0×1011 Ω 的范圍的材料。

3.14 等電位聯(lián)結(jié) eq uiPotential bonding

為了達(dá)到等電位,多個可導(dǎo)電部分間的電連接。

 

4 靜電來源和危害

 

4.1來源

4.1.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中靜電起電的主要方式如下:

摩擦起電:不同物體或介質(zhì)接觸后因出現(xiàn)相對位移產(chǎn)生靜電;

感應(yīng)起電:在靜電場作用下,導(dǎo)體內(nèi)電荷重新分布產(chǎn)生帶電現(xiàn)象;

吸附起電:通過吸附帶電微粒帶電;

傳導(dǎo)起電:通過與帶電物體接觸帶電。

4.1.2潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見的靜電來源與靜電控制要素見附錄 A。

4.1.3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中影響靜電控制的環(huán)境要素見表1。

表1影響靜電控制的環(huán)境要素

環(huán)境要素

影響

相對濕度

影響靜電起電( ESC)的電壓,同等條件下相對濕度越低ESC電壓越高

粒子

懸浮粒子和表面粒子會造成摩擦起電和傳導(dǎo)起電,也是吸附帶電的載體

氣體流速

氣體流速會影響摩擦起電的起電量和帶電微粒的移動速度

電磁輻射和電離輻射

電磁感應(yīng)和電離效應(yīng)會造成感應(yīng)起電

 

4.2危害

4.2.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電危害主要由靜電吸引( ESA )、靜電放電( ESD)和靜電感應(yīng)(ESI)造成。

4.2.2ESA 造成粒子、微生物等聚集,形成帶電污染物。帶電污染物接觸到對表面潔凈度或靜電放電敏感( ESDS)產(chǎn)品、材料、設(shè)備和人員時會造成靜電危害:

造成 ESDS 產(chǎn)品短路、性能下降等;

污染ESDS 材料;

造成 ESDS 設(shè)備的功能性部件污染、性能下降;

造成防靜電工作區(qū)( EPA)消防隱患和人員安全隱患。

 

4.2.3ESD及ESI的危害對象主要是ESDS產(chǎn)品、ESDS設(shè)備和人員。ESD及靜電感應(yīng)造成ESDS產(chǎn)品擊穿、失效、性能下降,造成ESDS設(shè)備控制或測量精度下降、設(shè)備功能損失。ESD還會造成人體靜電沖擊,且在涉及易燃易爆物品時,ESD產(chǎn)生的火花可能引起火災(zāi)或爆炸。潔凈室內(nèi)的ESD方式如下所述。

人體放電。人員活動或工作時,接觸ESDS 產(chǎn)品或設(shè)備產(chǎn)生ESD。

帶電器件放電。帶電器件接近具有不同靜電電位的物體時產(chǎn)生 ESD。

機(jī)器設(shè)備帶電放電。生產(chǎn)、轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備或工具接觸ESDS 產(chǎn)品時產(chǎn)生ESD。

線纜放電。存在電荷積聚的線纜接近具有不同靜電電位的物體時產(chǎn)生 ESD。

其他。工藝活動、電磁或電離輻射等產(chǎn)生 ESD。

 

4.2.4靜電控制采取不當(dāng)措施時,可能影響潔凈室環(huán)境性能、設(shè)備設(shè)施性能、產(chǎn)品質(zhì)量,并帶來人員安全和電氣安全隱患:

 

使用不符合潔凈室適用性要求和工藝要求的防靜電材料或設(shè)備、設(shè)施;

離子化靜電消除器選型、安裝位置或屏蔽措施不當(dāng);

接地及等電位聯(lián)結(jié)措施不當(dāng)。

 

5 技術(shù)要求

 

5.1一般要求

5.1.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的電氣裝置安全防護(hù)應(yīng)符合GB/T 16895.10 中的相關(guān)要求。

5.1.2潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的接地系統(tǒng)要求如下所述。

潔凈室所在建筑防靜電接地干線對地電阻抗應(yīng)小于或等于10 Ω,潔凈室防靜電接地系統(tǒng)各連接部位(接地支線、接地端子板、接地網(wǎng)格、接地裝置)與接地干線之間的電阻值應(yīng)小于或等于 4 Ω。

潔凈室EPA 的圍護(hù)結(jié)構(gòu),通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)( 送風(fēng)口、回風(fēng)口、風(fēng)管、風(fēng)機(jī)過濾單元等末端裝置)、金屬橋架、穿過潔凈室且輸配易燃易爆介質(zhì)的工藝管道、潔凈室內(nèi)的工藝設(shè)備及其防爆柜均應(yīng)接地 ,接地方式應(yīng)采用焊接或機(jī)械連接方式 ,其中管道法蘭應(yīng)跨接。

嚴(yán)于( 含)ISO 5 級的潔凈室或使用活動地板的潔凈室,防靜電接地系統(tǒng)各連接部位宜設(shè)置在下夾層或活動地板下方。

注: ISO 等級見GB/T 25 915.1—2021 中4.3。

潔凈室內(nèi)由TN 交流配電系統(tǒng)供電時應(yīng)采用TN-S 或TN-C-S 系統(tǒng)的接地方式,爆炸性環(huán)境配電系統(tǒng)應(yīng)采用TN-S 系統(tǒng)接地方式。防靜電等電位聯(lián)結(jié)導(dǎo)體選用方式見附錄B 的表B.1。

使用活動地板的潔凈室防靜電接地系統(tǒng)可利用支架系統(tǒng)構(gòu)成框架聯(lián)結(jié)網(wǎng)絡(luò),接地連接導(dǎo)線應(yīng)選用有絕緣保護(hù)的軟銅線,截面積不應(yīng)小于2.5 m m2 。

潔凈室中易燃易爆介質(zhì)儲存容器,容易產(chǎn)生靜電的設(shè)備、儀器,以及對靜電敏感的儀器應(yīng)采取單獨(dú)接地措施。

 

5.1.3潔凈室EPA 區(qū)域內(nèi)宜避免存在孤立導(dǎo)體。無法避免時,孤立導(dǎo)體與ESDS 產(chǎn)品、設(shè)備或接地點(diǎn)間的電位差應(yīng)按照工藝要求進(jìn)行控制。

5.1.4ESDS 產(chǎn)品300 m m 范圍內(nèi)存在絕緣物體時,應(yīng)按照工藝要求布置離子化靜電消除設(shè)備。同時應(yīng)制定絕緣物體管控清單,并根據(jù)工藝和風(fēng)險(xiǎn)評估確定其靜電電壓監(jiān)控要求。

5.2人員

5.2.1從事處置或直接接觸ESDS 物品的人員應(yīng)接受專門培訓(xùn)。

5.2.2人員與 ESDS 產(chǎn)品、材料和設(shè)備的接觸面應(yīng)通過等電位聯(lián)結(jié)處于相同電位。

5.2.3人員在潔凈室內(nèi)活動的著裝及其他防靜電設(shè)施佩戴應(yīng)滿足各行業(yè)工藝或技術(shù)活動的相關(guān)要求。

5.2.4人員在嚴(yán)于(含)ISO 5 級的潔凈室內(nèi)應(yīng)穿著連體式防靜電無塵服及防靜電鞋,連體式防靜電無塵服及防靜電鞋的各部分應(yīng)具有電氣連續(xù)性,在其他等級潔凈室可穿著分體式防靜電無塵服或根據(jù)工藝及使用要求選擇防靜電無塵服。防靜電無塵服性能指標(biāo)見表B.2。

5.2.5人員在潔凈室內(nèi)穿著分體式防靜電無塵服活動時,應(yīng)穿防靜電鞋( 套)實(shí)現(xiàn)人員等電位聯(lián)結(jié),人員對地電阻應(yīng)在1.0×105 Ω~1.0×109 Ω 范圍,人體電壓絕對值應(yīng)小于或等于100 V。

5.2.6人員在潔凈室內(nèi)固定位置接觸ESDS 產(chǎn)品時,宜通過防靜電手腕帶進(jìn)行等電位聯(lián)結(jié),人員穿戴手腕帶時對地電阻應(yīng)在1×105 Ω~3.5×107 Ω 范圍。

5.2.7通過防靜電無塵服、防靜電鞋( 套)實(shí)現(xiàn)人員等電位聯(lián)結(jié)時,人員進(jìn)入潔凈室EPA 區(qū)域前,宜使用人體靜電綜合電壓測試儀檢驗(yàn)人體對地電阻或通過靜電泄放裝置泄放人體靜電。

5.3工作表面

5.3.1潔凈室內(nèi)與 ESDS 產(chǎn)品接觸的人員操作表面和設(shè)備工作表面應(yīng)控制 ESC、ESA、ESD 和靜電感應(yīng)。

5.3.2潔凈室內(nèi)工作表面的靜電控制措施要求如下:

工作表面的點(diǎn)對點(diǎn)電阻值應(yīng)小于1.0×109 Ω;

工作表面的材料應(yīng)根據(jù)GB/T 25 915.15 評估其潔凈室適用性;

工作表面應(yīng)按GB/T 25 915.13 的要求進(jìn)行清潔,有生物污染控制要求的工作表面清潔消毒應(yīng)符合GB 15 982 的要求;

工作表面應(yīng)進(jìn)行等電位聯(lián)結(jié),工作表面對地電阻應(yīng)小于1.0×109 Ω;

工作表面宜進(jìn)行對地電阻和靜電電壓監(jiān)測;

人員操作表面的截面風(fēng)速宜小于或等于0.2 m /s;

設(shè)備工作表面無法通過設(shè)備外殼接地時,應(yīng)單獨(dú)接地或配置離子化靜電消除器,接地時設(shè)備工作表面對地電阻值應(yīng)小于1.0×109 Ω。

注: 進(jìn)行高壓操作及絕緣和耐壓測試的工作表面除外。

 

5.4環(huán)境和區(qū)域

5.4.1潔凈室內(nèi)應(yīng)控制圍護(hù)結(jié)構(gòu)、通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)、穿過潔凈室工藝管道的ESC、ESA、ESD 和靜電感應(yīng),以及氣流中的帶電污染物。

5.4.2潔凈室EPA 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的靜電控制要求如下所述。

潔凈室EPA 圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料,應(yīng)根據(jù)GB/T 25 915.4 評估其可清潔性和GB/T 25 915.15 評估其潔凈室適用性。

潔凈室EPA 圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)按GB/T 25 915.13 的要求進(jìn)行清潔,有生物污染控制要求的潔凈室EPA 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的清潔消毒應(yīng)符合GB 15 982 的要求。

潔凈室 EPA 內(nèi)防靜電地面的點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)在 1.0 ×105 Ω~1.0 ×109 Ω 之間 ,吊頂、墻體、門、窗面層宜涂覆靜電耗散材料;嚴(yán)于( 含)ISO 5 級的潔凈室 EPA 內(nèi)吊頂、墻體宜選用涂覆靜電耗散材料面層的金屬板材。

潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)進(jìn)行等電位聯(lián)結(jié),并通過公共接地點(diǎn)接地,圍護(hù)結(jié)構(gòu)對地電阻值應(yīng)小于1.0×109 Ω。

潔凈室回風(fēng)夾道及活動地板等雙面接觸循環(huán)氣流的構(gòu)件,宜根據(jù)工藝和設(shè)計(jì)要求選用通體防靜電材料或雙面涂覆靜電耗散材料。

潔凈室應(yīng)根據(jù)工藝要求合理選用防靜電地面,活動地板開孔率除宜考慮氣流組織外,還宜考慮開孔率對點(diǎn)對點(diǎn)電阻的影響。防靜電地面類型見附錄C。

潔凈室活動地板下方的樓板或華夫板等構(gòu)件表面,應(yīng)涂覆靜電耗散材料。

潔凈室內(nèi)使用 PVC 隔斷簾時,PVC 隔斷簾應(yīng)選用靜電耗散材料。

 

5.4.3潔凈室通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)的靜電控制要求如下:

風(fēng)機(jī)過濾單元、末端過濾系統(tǒng)宜具備容塵、容污報(bào)警功能;

過濾材料點(diǎn)對點(diǎn)電阻宜小于1.0×109 Ω;

潔凈室通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)口、回風(fēng)口、風(fēng)管、風(fēng)機(jī)過濾單元或末端裝置外殼表面宜涂覆靜電耗散材料 ,對地或等電位聯(lián)結(jié)電阻應(yīng)小于 1.0×109 Ω;

垂直單向流潔凈室通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)末端設(shè)備宜根據(jù)工藝要求配備離子棒或空間離子棒。

 

5.4.4穿過潔凈室的工藝管道靜電控制要求如下:

工藝管道點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)小于1.0×109 Ω;

輸配易燃易爆介質(zhì)的工藝管道接地應(yīng)滿足5.1.1 和5.1.2 的要求。

 

5.4.5潔凈室氣流中的游離電荷控制要求如下所述。

氣流組織、風(fēng)口風(fēng)速和工作面截面風(fēng)速應(yīng)符合潔凈室設(shè)計(jì)要求。

潔凈室EPA 區(qū)域內(nèi)、有工藝要求的設(shè)備艙體內(nèi),應(yīng)根據(jù)控制電壓、靜電消散時間、潔凈度和工藝要求布置離子化靜電消除器。離子化靜電消除器性能指標(biāo)見表B.3 ,不同場景下離子化靜電消除器配置見表B.4。

單向流潔凈室及潔凈工作臺、設(shè)備艙體等工藝對氣流穩(wěn)定性有要求的潔凈微環(huán)境,不應(yīng)使用離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍等靜電消除器。

注: 微環(huán)境指潔凈室EPA 區(qū)域內(nèi)的局部環(huán)境,以及有防靜電要求的潔凈工作臺、設(shè)備艙體等。

 

5.4.6潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的EPA 宜按照工藝和功能要求進(jìn)行分級或分類,見附錄D。

5.5設(shè)備及工具

5.5.1使用交流電的工藝設(shè)備和工具與ESDS 產(chǎn)品接觸表面的接地電阻應(yīng)小于或等于10 Ω,其金屬機(jī)殼應(yīng)通過電源保護(hù)地線接地。設(shè)備線纜距離ESDS 產(chǎn)品小于300 m m 時應(yīng)包裹具備防靜電性能的保護(hù)外皮。

5.5.2不使用交流電的工藝設(shè)備和工具 ,宜通過人員、工作臺面、地面或直接與保護(hù)地連接的方式實(shí)現(xiàn)接地。

5.5.3離子化靜電消除器的使用和配置除應(yīng)符合 5.4.5 外 ,還應(yīng)滿足其設(shè)備外殼材質(zhì)、驅(qū)動氣體潔凈度、風(fēng)速、工作噪聲、臭氧及化學(xué)污染物釋放、電磁干擾特性和電離輻射防護(hù)等相關(guān)要求。在爆炸性環(huán)境中選用離子化靜電消除器時 ,其防爆性能應(yīng)滿足國家、行業(yè)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求。

5.5.4潔凈室EPA 區(qū)域常見防靜電設(shè)備和工具性能指標(biāo)見附錄E。

5.6ESDS 產(chǎn)品包裝、轉(zhuǎn)運(yùn)和儲存

5.6.1ESDS 產(chǎn)品在包裝、轉(zhuǎn)運(yùn)和儲存過程中,應(yīng)控制包裝容器表面、接觸表面的ESC ,以及EPA 區(qū)域內(nèi)轉(zhuǎn)運(yùn)、儲存設(shè)備設(shè)施與地面的電位差。

5.6.2ESDS 產(chǎn)品的包裝容器、轉(zhuǎn)運(yùn)和儲存設(shè)備設(shè)施應(yīng)根據(jù)GB/T 25 915.14 和GB/T 25 915.15 進(jìn)行潔凈室適用性評估,并應(yīng)按照GB/T 25 915.13 的要求進(jìn)行清潔。

5.6.3潔凈室 ESDS 產(chǎn)品包裝靜電控制符合以下要求:

與ESDS 產(chǎn)品直接接觸的包裝制品點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)在1.0×105 Ω~1.0×109 Ω 之間;

ESDS 產(chǎn)品轉(zhuǎn)運(yùn)至非靜電防護(hù)區(qū)時,其包裝制品應(yīng)具備靜電屏蔽性能。

 

5.6.4ESDS 產(chǎn)品轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)在 1.0 ×105 Ω~1.0 ×109 Ω 之間 ,產(chǎn)品在潔凈室 EPA 區(qū)域內(nèi)、不同等級或類型 EPA 區(qū)域之間轉(zhuǎn)運(yùn)時轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備應(yīng)與地面應(yīng)處于等電位。轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備進(jìn)入潔凈度等級要求更嚴(yán)的區(qū)域時 ,應(yīng)進(jìn)行表面清潔處理。

5.6.5ESDS 產(chǎn)品存儲容器、設(shè)施宜具備靜電屏蔽性能。

5.6.6使用自動化傳輸設(shè)備運(yùn)輸ESDS 產(chǎn)品時,宜監(jiān)測ESDS 產(chǎn)品處置過程中的靜電電壓。

5.7監(jiān)測和檢測

5.7.1潔凈室靜電監(jiān)測和檢測設(shè)備、設(shè)施、儀表應(yīng)符合潔凈室適用性要求,且應(yīng)進(jìn)行周期性計(jì)量。

5.7.2潔凈室靜電監(jiān)測和檢測宜按照表2 和GB/T 25 915.3 中相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

表 2 潔凈室靜電監(jiān)測和檢測

 

附 錄 A

(資料性)

靜電來源與控制要素

 

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見的靜電來源見表 A.1。

 

表 A.1 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見靜電來源

 

 

不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素見表A.2。

 

表 A.2 不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素

 

 

 

表 A.2 不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素 (續(xù))

 

附 錄 B

(資料性)

技術(shù)措施

 

潔凈室EPA 內(nèi)等電位聯(lián)結(jié)導(dǎo)體和最小截面積見表B.1。

 

表 B.1 潔凈室 EPA 區(qū)域防靜電等電位聯(lián)結(jié)導(dǎo)體線選用

 

 

潔凈室EPA 內(nèi)使用的防靜電無塵服性能指標(biāo)見表B.2。

 

表 B.2 防靜電無塵服性能指標(biāo)

 

潔凈室EPA 內(nèi)使用的離子化靜電消除設(shè)備性能指標(biāo)見表B.3。

 

表 B.3 離子化靜電消除器性能指標(biāo)

 

潔凈室EPA 內(nèi)不同場景下離子化靜電消除器配置見表B.4。

 

表 B.4 不同場景下離子化靜電消除器配置

 

表 B.4 不同場景下離子化靜電消除器配置 (續(xù))

 

附 錄 C

(資料性)

防靜電地面類型

 

防靜電地面類型選用見表C.1 ,其他領(lǐng)域潔凈室防靜電地面類型參考選用。

 

表 C.1 防靜電地面類型選用

 

附 錄 D

(資料性)

EPA 分級或分類

 

D.1電子行業(yè) EPA 根據(jù)靜電電壓控制要求分為三級:

一級區(qū)域:控制靜電電壓絕對值不大于100 V;

二級區(qū)域:控制靜電電壓絕對值不大于200 V;

三級區(qū)域:控制靜電電壓絕對值不大于1 000 V。

 

D.2航天電子產(chǎn)品EPA 區(qū)域根據(jù)使用功能,將EPA 區(qū)域按照靜電控制要求由高到低分為Ⅰ 類和Ⅱ類:

Ⅰ類:直接或間接接觸、處置 ESDS 元器件、組件的區(qū)域 ,如庫房、元器件篩選、老化和測試、電裝、電路板調(diào)試、單機(jī)調(diào)試及與 ESDS 單機(jī)直接相連的電纜所處區(qū)域等;

Ⅱ類:處置ESDS 單機(jī)設(shè)備的區(qū)域,如單機(jī)環(huán)境試驗(yàn)、單機(jī)老化、單機(jī)庫房和ESDS 產(chǎn)品裝配區(qū)域等。

 

D.3醫(yī)療衛(wèi)生行業(yè)參考GB/T 16895.24 中的劃分示例作為指導(dǎo)原則,將醫(yī)療場所靜電控制要求由低到高分為0 類場所、1 類場所和2 類場所。

0 類場所,典型場所有診療室和住院病房。建議采用靜電控制措施,將靜電吸附的污染、點(diǎn)燃事故、預(yù)期外的靜電電擊和ESD 引起的數(shù)據(jù)錯誤降低到可接受的水平。

1 類場所 ,典型場所有內(nèi)窺鏡檢查室、心電圖室( ECG )、腦電圖室( EEG )和彩超室( EHG )、CT 室、嬰兒保育室、泌尿外科和核醫(yī)學(xué)室。建議采用靜電控制措施 ,以將靜電吸附的污染、點(diǎn)燃事故、預(yù)期外的靜電電擊和 ESD 引起的數(shù)據(jù)錯誤降低到可接受的水平。

2 類場所,典型場所有手術(shù)室套間、手術(shù)準(zhǔn)備室、手術(shù)室、術(shù)后復(fù)蘇室、心導(dǎo)管室、冠狀動脈監(jiān)護(hù)室和重癥監(jiān)護(hù)病房。要求采用靜電控制措施,此類場所的醫(yī)療設(shè)備暫時失去功能會對患者的生命構(gòu)成重大風(fēng)險(xiǎn)。

 

附 錄 E

(資料性)

防靜電設(shè)備和工具性能

 

潔凈室EPA 區(qū)域常見防靜電設(shè)備和工具性能指標(biāo)見表E.1。

 

表 E.1 潔凈室 EPA 區(qū)域常見防靜電設(shè)備和工具性能指標(biāo)

 

 

 

 

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